HALOVAC®精密真空ポンプ用フルード

HaloVac®精密真空ポンプ用フルードは、精密真空ポンプの用途で必要とされる低蒸気圧と粘度特性のために特別に開発されたフッ素潤滑剤です。このようなオイルは70年以上にわたり、高性能な真空用途や極低温用途における機械式ポンプを潤滑したり、運用年数を最大限に延ばしたりするために、安全で信頼できる選択肢として使用されてきました。

炭化水素ベースのオイルとは異なり、HaloVac®は不燃性かつ化学的不活性で、酸素や塩素との相溶性があります。当社独自のPCTFE技術を用いて製造されたHaloVac®オイルは、精密真空ポンプ用に特別に開発・最適化されており、従来のPFPEベースのシステムに代わる競争力と費用効率の高い製品です。

HaloVac®オイルは、酸化性の環境や危険な化学物質を伴う連続作業において、不燃性かつ非反応性の潤滑剤として使用できるように開発されています。HaloVac®オイルは、半導体製造におけるプラズマエッチングや化学蒸着から、反応性ガス処理や電子顕微鏡に使用される真空まで、幅広い用途で日常的に使用されています。
そのような用途に共通する日常的な操作やメンテナンス、廃棄物の処理に関連する安全上のリスクや暴露のリスクは、このオイルによって大幅に軽減されます。